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该系统独特的设计有效的减少热漂移对换境时的影响,为低温测试提供真空保护,采用模块化设计:显微压痕、纳米压痕、超纳米压痕、显微划痕、纳米划痕和显微划痕+显微硬度组合测试等,这些测试功能客户可自由选择;符合ISO14577标准;
配备封闭的不锈钢腔体;
高真空达10-7mbar;
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