根据形态追踪污染来源
在生产过程中使用化学品是产生污染的原因。众所周知，氨氮是印刷过程中的污染物。可能的来源是，六甲基二硅烷分解为trymethylsilanol和氨氮。随着形成物种的能力，µ-VOC系统是追踪时间和污染过程起源的一个工具。
无尘室控制中，交叉污染产生了另外一个主要的问题。实际上，由于无尘室中空气流通方式，特定生产领域中使用的溶剂对另外不同生产过程领域来说，就是一种危险的污染物。多亏了µ-VOC识别有机物种类的性能，在检测交叉污染问题上提供了独特的试剂。
检查过滤器投资
化学过滤器的安装，或者是在无尘室空气再循环系统上，或者是在工具上，都需要经济上大的投资。根据一组维护方案，过滤器的更换如果太早，在已经高的成本上会产生不必要的提高，如果用尽的过滤器更换太晚会保护不充分。
µ-VOC有16条通道，允许过滤器上游和下游都进行监测。传入的空气不在过滤器规格中时，样品进行上游点检测，当检测下游点时，预示吸收能力已经到极限了。
一个过程工具
µ-VOC系统是被设计为一种连续无人操作，分析过程工具。它会自动采样高达16点，并设置不同的报警。µ-VOC系统可运输性，使它成为获得污染监测起因的一种有用的工具。
现场校准包括，遵循质量控制的严格的规则。
显示实时监测结果，并且以浓度值表示，不需要进行计算。
按标准远程连接到客户的网络上。

空气污染检测仪
多达16个不同的样品检测， 有机物检测限低至ppb等级
连续监测ppb级以下的物质：
2-丁酮，三甲基色氨酸，硅烷醇，丙酮，乙醇，异丙醇，环己烷，乳酸乙酯，正己烷，苯乙烷，丁醇，乙酸丁酯，m二甲苯，苯乙烯，苯，甲苯，HMDS(六甲基二硅胺烷)，PGMEA（丙二醇甲基醚乙酯）和许多其他的物质。
空气分子污染（AMC）是许多高技术生产流程中关注的问题，尤其是在微电子工业。有机物污染会引起生产工具中不利的影响并提高高科技公司的生产成本。
无污染生产是一个可行的目标，可通过源控制和过滤溶液与空气处理系统连接的源监测实现。AMC固定的监测水平有助于查明来源，稳定生产和防止了过滤单元服务周期的意想不到的不足。
uVOC-CAM使我们的客户，不需要像用一个采样器一样在具体的采样点取样，而可以在线监测很长一段时间。
然而，检测限可低至ppb等级。
AMC在无尘室污染主要来源于内部污染源溶剂，乙酸，废气的逸散，环境空气的芳香族化合物，回流空气和材料释放的气体。
更重要的是，必须考虑到漏损，泄露和违反规定的运行，可能导致丧失在晶片和工具的停机时间方面的严重代价
污染问题：从清洁空气到工具
随着复杂性和IC产品生产成本的提高，空气分子污染监测变得越来越重要。
从工具到整个清洁室内，到化合物数量的增加，污染在加剧。分子污染有很多来源。化学品制作过程，建筑材料的释放，无尘室组件和人员，都会对现场产生污染。
µ-VOC系统是一种找出空气分析污染和生产率之间潜在相关性的问题的方法。实时分析ppb等级范围化合物，提供污染物早期检测和原因快速鉴定。

操作原理
长期以来，GC（气相色谱）是复杂分子进行分离和鉴定的技术的首选。该方法取决于复杂样品的挥发和各种化合物在色谱柱中稳定阶段吸收的均衡。
当化合物从色谱柱中洗脱出来，通过氢/空气火焰原子检测器（FID）测定电导率的变化来测定。FID将反映有机物的存在与否。独特的吹扫捕集采样系统可达到ppb级的检测限
测量原理： 火焰原子检测气相层析法
测量范围： 0-200ppb
尺寸（H×W×D）： 160cm×60cm×80cm
外壳： Nema 12或IP54不锈钢控制台
操作温度： 10°C—35 °C
接口： RS-232, 以太网, ODBC（开放式数据库互接）
电源： 230 Vac, 50/60 Hz，zei大9 00 W
气体： CDA 5 l/min ，H2 130 sccm (可选择 H2 发生器)
采样通道： 多达16个
解析度： 0.1ppb
检测化合物： 多达30种，用户自定义

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途