NanoFocusμsurf basic光学轮廓(快速非接触三维表面测量系统)

产品介绍
       μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。
        NanoFocus μsurf basic机台功能齐全，结构紧凑，性价比高，并拥有超高光学分辨率和zei全面广泛的三维表面形貌分析能力。NanoFocus μsurf basic不仅是一台灵活的三维共聚焦显微镜，聚合物、陶瓷、金属或复合等材料都可以检测，包括透明表面以及反光表面的样品。同时，炮筒式的物镜，让您不再因为测量要求的不同而不断频繁地更换镜头，所有的物镜安装在一个旋转头上，只需转动测量头即可选择放大的物镜倍数。


应用
μsurf系列用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。
精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等;
生命科学：测量stents支架上镀层厚度等
微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等
半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计
太阳能：电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析等
纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量
螺纹：螺栓螺纹的表面粗糙度以及三维形貌
表面摩擦磨损：当物体表面被摩擦，摩擦磨损程度的测量
电阻：电阻的表面三维形貌

技术参数
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间：5~10秒
测量原理：非接触、共聚焦
X/Y方向，平台移动范围：50mmX50mm，马达驱动，分辨率：0.7μm
Z方向扫描范围：75mm，分辨率：20nm
物镜：10X、20X、50X (可选)
计算机：高性能计算机控制系统，功能全面的软件，有拼接功能，
工作电源：100-240V, 50-60Hz, input<45W
材质：钢铁、橡胶、大理石
外型尺寸：710x270x330 mm (HxWxD)
重量：28KG
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)


设备咨询联系人:
Ronnie Chen(上海巨纳) +86-21-61533166 nanofocus@163.com
Frank Ding(NanoFocus中国) +86-13817790990 frankding@foxmail.com

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途