WLI LA 白光干涉仪

本仪器比以往的显微镜可测面积大得多，使用者需在大测量面积和大数值孔径之间进行适当平衡。数值孔径决定了横向分辨率和可测量的微观/宏观表面倾斜程度。选择大约1.5 cm²的测量面积代表了zei适宜的平衡点。干涉仪可测量大的测量面积使其用来主要进行平面度测量，而对于微观结构则会获取太多无效数据。本仪器采用数字式相机，用户可以选定动态范围8-14位的测量范围，和各种帮助操作者的辅助功能。

应用：

·用于表面形状、平面度和轮廓测量

特点：

·可测量粗糙或光滑表面

·测量结果不受被测物颜色和材料影响

·几秒钟完成测量

·测量面积：14 x 10 mm

· 测量范围：100 / 150 µm

·横向分辨率：30 µm

·垂向分辨率：³1 nm

·高数字孔径

·快速分析表面构造

·平面度评估

·自动数据采集和处理

·大的测量面积

技术参数：
适用于较大面积平面的表面结构形状测量
测量头

·光源 LED

·测量范围 100/150µm

·垂直分辨率 ³ 1nm

·横向分辨率 30µm

·测量面积 13.9 x 10.4[mm]