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NexION 2000S ICP-MS 检测高硅基体样品中的微量磷杂质

发布时间: 2020-05-26 09:20 来源: 珀金埃尔默企业管理(上海)有限公司
领域: 电子/电器/半导体
样品:高硅基体项目:

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NexION 2000S ICP-MS 检测高硅基体样品中的微量磷杂质

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本文应用PerkinElmer独创的去除干涉技术—UCT(通用池技术)功能的NexION 2000S ICP-MS检测对含有大量硅的氢氟酸介质中的磷的分析。


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