资料下载｜珀金埃尔默携半导体行业检测解决方案亮相【SEMICON China 2021】

SEMICON China 2021将于2021年3月17-19日在上海新国际博览中心举办，珀金埃尔默公司作为半导体行业分析检测设备和技术的领先供应商之一，将携解决方案和多款仪器亮相。

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半导体行业检测解决方案简介

珀金埃尔默半导体行业无机元素与纳米颗粒检测方案

在半导体器件和化学品制造的分析中，痕量元素杂质的控制对于性能具有至关重要的作用，甚至影响半导体产品的良品率。半导体制造商需要在整个制造过程中拥有检测超痕量污染物的能力，包括晶圆、超纯水、化学试剂、光刻胶、电子特气、封装材料等。半导体工艺的进步，对元素杂质和微粒污染物检测能力提出了更高的要求。

珀金埃尔默提供的NexION^® 5000 化学高分辨多重四极杆ICP-MS，热等离子体条件下可实现半导体必须元素低于1ppt（SEMI F63-0918) 的背景等效浓度。同时，该仪器可以升级，以满足SEMI S2和S8标准。NexION系列ICP-MS可设置低至10μs的信号读取时间，高精度测定抛光材料中悬浮金属纳米粒子的颗粒浓度、尺寸大小和分布信息，为光刻过程保驾护航。

珀金埃尔默半导体行业有机物检测方案

半导体行业中使用的有机化合物的纯度杂质影响到相关产品的质量。珀金埃尔默公司Clarus^® SQ8气相色谱质谱联用仪具有准确的定性能力和优异的定量精度，是分析有机试剂纯度和杂质的主要分析设备。

半导体行业使用的有机试剂也会产生相应的挥发性有机物，对生产和环境造成污染，包括AMC、VOCs等。珀金埃尔默公司热脱附仪与气相色谱质谱联用，可实现洁净室或生产区域内空气的在线或离线采集进样，并检测出低浓度（<ppb）的有机污染物。

珀金埃尔默半导体行业材料组份检测方案

针对半导体行业的IC封装、显示面板、光伏电池、光学薄膜等领域，珀金埃尔默公司凭借先进的傅里叶变换红外光谱仪、红外显微镜、紫外可见近红外分光光度计、差示扫描量热仪、热机械分析仪等产品，一如既往为客户提供全面的解决方案，可用于测定固化率、固化热、热膨胀系数、透光率、反射率、微观污染物、成分浓度等。

半导体行业检测技术研讨会

2021年3月17日（周三）下午13:30-16:50

上海新国际博览中心N3馆M43会议室

（上海市浦东新区龙阳路2345号）

珀金埃尔默展台

期待您莅临展位参观仪器、现场交流，现场签到还可领取精美礼品！

展位号：T3337