产品简介：

• 基于视窗结构的软件，很容易操作
• 先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计，以确保系统能发挥出zei佳的性能及zei长的正常运行时间
• 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量
• 低价格，便携式及灵巧的操作台面设计
• 在很小的尺寸范围内，zei多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率
• 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数
• 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率
• 系统配备大量的光学常数数据及数据库
• 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析
• 系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一体
• 能够应用于不同类型、不同厚度(zei厚可测200mm)的基片测量
• 使用深紫外光测量的薄膜厚度zei低可至20 Ǻ
• 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面
• 先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量
• 各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应用

系统配置：

•  型号：MSP100RTM
• 探测器：2048像素的CCD阵列
• 光源：高功率的深紫外－可见光光源
• 光传送方式：光纤 
• 自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，能够在5”×3”的距离上移动，并且有着1μm的分辨率，程序控制
• 物镜有着长焦点距离:4×，10×，15×(DUV)，50×
• 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连
• 测量类型：反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数
• 计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，200G硬盘、DVD刻录机，19”LCD显示器
• 电源：110–240V AC/50-60Hz，3A
• 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置)
• 重量：120磅总重
• 保修：一年的整机及零备件保修

基本参数：

•  波长范围：250nm到1000 nm
• 波长分辨率: 1nm
• 光斑尺寸：100µm (4x), 40µm (10x), 30µm (15x), 8µm (50x)
• 基片尺寸：zei多可至20mm厚
• 测量厚度范围: 20Å 到25 µm
• 测量时间：zei快2毫秒
• 精确度*：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
• 重复性误差*：小于2 Ǻ

应用领域：

• 半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
• 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
• 医学，生物薄膜及材料领域等
• 油墨，矿物学，颜料，调色剂等
• 医药及医药中间设备等
• 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
• 半导体化合物
• 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
• 非晶体，纳米材料和结晶硅

产品可选项：

• 波长可扩展到远深紫外光或者近红外光范围
• 高功率的深紫外光用于小斑点测量
• 可根据客户的特殊需求来定制
• 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷
• 可选择的平台尺寸zei多可测量300mm大小尺寸的样品
• 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm
• 各种滤光片可供各种特殊的需求
• 可添加应用于荧光测量的附件
• 可添加用于拉曼应用的附件
• 可添加用于偏光应用的附件

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途