MSP300 显微分光光度计

产品简介：

 显微分光光度计(Micro-Photometry、Micro Spectrophotometry)是用来描述薄膜、涂层厚度超过1微米的物件的光学性能的。显微分光光度计同样也被称作为：microreflectometer、micro-reflectometer、microspectrometer、microphotometer(Spectroscopic)、microspectroscopic photometer等等。依靠着Angstrom公司独特的专业设计，MSP系列产品有着在线的实时数字成像系统，以及强大的数字编辑能力、拥有者反射率、透射率及吸收光谱等测量工具。可以在毫秒的时间内就完成数据采集。在进行诸如反射、透射、涂层厚度、折射率(光学常数)等光学性能改变的运动学研究方面，TFProbe软件允许用户设立加热阶段或冷却阶段。在各种MSP型号的可移动X-Y平台或ρ-θ平台中都可以用到自动成像功能，在使用螺杆的电动调焦功能上也同样的能使用此功能。仪器所能测量的波长范围通常是用户考虑的zei重要的一个参数，Angstrom公司的MSP产品，其测量波长覆盖了从深紫外光(DUV)到近红外光的范围。这个波长范围应当诸如薄膜或涂层的厚度、反射或透射的典型波长范围等因素决定。

产品特点：

• 基于视窗结构的软件，很容易操作
• 先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计，以确保系统能发挥出zei佳的性能及zei长的正常运行时间
• 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量
• 低价格，便携式及灵巧的操作台面设计
• 在很小的尺寸范围内，zei多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率
• 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数
• 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率
• 系统配备大量的光学常数数据及数据库
• 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析
• 系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一体
• 能够应用于不同类型、不同厚度(zei厚可测200mm)的基片测量
• 使用深紫外光测量的薄膜厚度zei低可至20 Ǻ
• 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面
• 先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量
• 各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应用

系统配置：

•  型号：MSP300R
• 探测器：2048像素的CCD阵列
• 光源：直流稳压卤素灯
• 光传送方式：光纤 
• 自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，手动调节移动范围为75mm×55mm
• 物镜有着长焦点距离:4×，10×，50×
• 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连
• 测量类型：反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数
• 计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，200G硬盘、DVD刻录机，19”LCD显示器
• 电源：110–240V AC/50-60Hz，3A
• 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置)
• 重量：120磅总重
• 保修：一年的整机及零备件保修

基本参数：

•  波长范围：400nm到1000 nm
• 波长分辨率: 1nm
• 光斑尺寸：100µm (4x), 40µm (10x), 8µm (50x)
• 样品尺寸：标准150×150mm
• 基片尺寸：zei多可至20mm厚
• 测量厚度范围: 10nm 到25 µm
• 测量时间：zei快2毫秒
• 精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
• 重复性误差：小于2 Ǻ

应用领域：

• 半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
• 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
• 医学，生物薄膜及材料领域等
• 油墨，矿物学，颜料，调色剂等
• 医药及医药中间设备等
• 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
• 半导体化合物
• 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
• 非晶体，纳米材料和结晶硅

产品可选项：

• 波长可扩展到远深紫外光(MSP100)或者近红外光范围(MSP500)
• 高功率的深紫外光用于小斑点测量
• 可根据客户的特殊需求来定制
• 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷
• 可选择的平台尺寸zei多可测量300mm大小尺寸的样品
• 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm
• 各种滤光片可供各种特殊的需求
• 可添加应用于荧光测量的附件
• 可添加用于拉曼应用的附件
• 可添加用于偏光应用的附件
• 自动成像平台zei多可对300mm的晶片进行操作

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途