喷镀及不喷镀对扫描电镜成像的影响

对导电性不好的样品进行喷镀处理，一是可避免材料荷电。所谓荷电是入射电子的量大于产生的二次电子或者背散射电子的数量，从而导致在材料表面形成电子的富集（产生负电位）。由于负负相斥的原理，使得后面的入射电子不能在材料表面会聚，产生一系列的后果，例如聚焦不太容易聚清楚，表面形成一道一道白色的二次电子突然放电的现象。因此要得到满意的形貌，应该在材料表面形成一个有效的电子通路，即在样品台和材料表面有导电通路。最佳的办法就是在表面镀膜，这就是为什么扫描电镜要镀膜的原因。另一个原因是增加二次电子发射率，使图像信噪比增强，使图片看上去更漂亮。

但是对于某些样品，喷镀处理后不能准确反映样品的真实形态。例如对涂层样品来说，背散射电子情况下，由于电镜背散射电子成像原理：图像亮度和元素原子序数成正比，原子序数越高，图像越亮，样品经过喷金处理后（图 1），表面覆盖了一层金，图像亮度基本一致，很难看出来涂层的位置。未喷金（图 2），能明显分辩涂层的位置和厚度，因此，对于涂层样品来说，背散射电子情况下，应选择不喷金直接观测。

图 1 涂层样品放大倍数 500X （喷金）