PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统原子层沉积(ALD)

PROMETHEUS流化床原子层沉积系统可以提高材料性能和使用寿命，特别适用于锂电池的正极或负极材料。目前工业上常用的包覆方法是机械混合的干法，但这种方法无法实现均匀包覆并且性能提升有限。ALD技术能够实现高精度均匀包覆，是一个理想的包覆手段。

ForgeNano针对粉末类材料比表面积大的特点，采用流化床技术实现粉末材料的流化，从而保证前驱体与粉末充分接触。P系列是ForgeNano专为工业包覆研发的粉末ALD负载系统，能够实现kg级粉末批量包覆，是工业生产前最理想的研发工具。

产品规格：
1. 前驱体通道：2-8
2. 腔室容量：0-600ml
3. 反应器温度：450℃
4. 最高工艺温度：200℃
5. 振动流化床反应器
6. 模块：流化辅助，质谱，臭氧发生器，等离子体发生器

P系列是ForgeNano专为粉末ALD开发的研发级工具，使用流化床技术可保证粉末在反应器中的良好分散，有利于前驱体的扩散。利用流化辅助模块、高剪切气流以及振动反应器的设计可冲散团聚颗粒，确保分散效果。所有前驱体源均可独立加热，保证最佳运输条件，对于部分低蒸汽压的前驱体以及敏感的基底材料非常重要。P系列还拥有独特的阀门控制系统，可以实现多通道前驱体输运。

P系列配置了气体在线分析系统，对ALD工艺的改善有较大帮助，使用者可通过气体成分判断反应的完成度。

在锂电池应用中，包覆锂电池的正极或负极材料可以有效提升其放电性能及使用寿命。对于3D打印粉末，直接对原材料粉末改性无疑是更有效的手段。催化反应大多数是发生在材料表面的界面反应，因此对催化剂材料进行表面构筑改性是有效的性能提升手段。利用ALD可以直接在粉末，纤维材料表面生长高活性纳米涂层，另一种方法是利用模板法结合ALD在表面构筑特定结构，暴露活性位点。 此外，也可以在特定的颗粒表面进行表面包覆，防止催化剂烧结团聚。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途