荷兰飞纳发布台式场发射(FEG)电镜能谱一体机 Phenom LE：分辨率提升至2.5nm

2018 年7月24日，荷兰飞纳Phenom 重磅推出其颠覆性创新产品——全球首创台式场发射(FEG)扫描电镜能谱一体机Phenom LE：采用肖特基场发射电子枪，集背散射电子成像，二次电子成像和能谱分析于一体，分辨率优于 2.5nm@15kV，放大倍数 500,000x。只需一张承重200kg以上的桌子就可以安装飞纳台式场发射(FEG)电镜，无需装修改造实验室，无需安装防震台、磁屏蔽。可谓是扫描电镜行业的一个里程碑式创新产品，从参会千名电子显微学工作者的现场反应以及100多个产品咨询问题，侧面看到了广大电镜用户对该产品的极大兴趣。

飞纳台式场发射(FEG)扫描电镜 Phenom LE

　　“飞纳台式场发射——复杂设计给飞纳，极致体验给用户”，有着十多年电镜工作经验的飞纳应用顾问李淑波这样描述新产品，“该产品从立项到最后上市，耗时 6 年时间，发布多项专利，凝聚着上百名(直接、间接)研发人员的心血：为了早日让用户体验产品，研发人员 24 小时不停歇，晚上下班后将监测设备搬回自家调试，如今，这款设备终于通过了荷兰飞纳苛刻的质量保证体系，远渡重洋为忠实，勤劳，高品质要求的中国用户服务”。

　　据介绍，飞纳台式场发射(FEG)电镜能谱一体机Phenom LE 将为用户节省 40% 左右的购买成本(相较于购买传统落地式场发射电镜和能谱)，同时可为用户节省 20-60 万的实验室改造费用(安装防震台，磁屏蔽，装修实验室等)，飞纳台式场发射只需要一张桌子(千元左右)，维护也相对简单，省钱更省心。

　　从台式电镜到场发射(FEG)电镜能谱一体机，从 CeB6 灯丝到场发射灯丝——2006 年，飞纳发布全球首台使用高亮度 CeB6 灯丝的台式扫描电镜(Phenom Desktop SEM)，放大倍数为 10000 倍。2012 年 3 月，飞纳研发出首台电镜能谱一体机，开创电镜能谱设计新理念，两年销量达到 790 台。

　　台式电镜分辨率从 30nm 提升至 2.5nm——飞纳台式场发射(FEG)电镜Phenom LE 在 15kV 条件下，分辨率已提升至优于2.5nm，放大倍数为500000x。且低电压成像优异，可以获得更丰富表面细节。

分辨率提升对比图

（左，飞纳台式电镜(CeB6 灯丝)；右，飞纳台式场发射(FEG)电镜）

飞纳台式场发射(FEG)电镜高分辨性能

（左，锂电池隔膜；右，纳米氧化铁颗粒）

飞纳台式场发射(FEG)电镜低电压成像

（左，太阳能电池板 2kV；中，药物微球 3kV；右，静电纺丝纳米蛛网 5kV）

　　场发射电镜能谱一体机之能谱——能谱探头由原厂集成，延续飞纳电镜能谱一体机的设计理念，腔室内部采用特殊设计结构，以保证能谱探头最佳探测角度和探测距离，提高 X 射线收集效率。同时，此次升级的肖特基场发射电子源束流大，进一步激发样品产生充足的 X 射线。配置超薄“窗口”(Si3N4)，元素探测范围：Boron(5)-Americium(95)。

　　高效，简易操作、安装——高效率体现在15秒抽真空、全程样品导航、全自动马达样

　　品台等功能。整体操作简化为三步：装样品，自动聚焦和对比度亮度调节，一键取图成像。人性化的简约操作界面帮助操作者快速学会所有操作。飞纳台式场发射(FEG)电镜不仅具有操作便捷的优势，还可以适应高楼层等大多数环境的安装，且可免去磁屏蔽系统及防震台。

　　关于选配软件——Phenom LE 配置了多功能选配应用软件，如颗粒系统、孔径系统、纤维系统等，使得一些统计分析的应用可以一键完成。也可以根据客户的需求定制个性化软件，帮助客户自动完成样品图像的拍摄，分析。