为什么扫描电镜（SEM）的束斑直径那么重要

近年来，随着科技的发展和材料尺寸的不断缩小，扫描电镜（SEM）已经成为一种非常有价值的表征方法。SEM作为一种通用的工具，方便用户可以对各种各样的材料进行多种不同类型的分析。为获得更好的结果，用户应该仔细设定SEM参数。其中一个设置是束斑直径，即照射在样品上的电子束直径。在这篇博客中，阐述了如何在SEM中调整束斑直径，以及如何在高分辨率成像和大束流之间实现平衡，以获得最佳结果。

如何在SEM下调整束斑直径

描述SEM中电子束性质的四个主要参数如图1所示:

1. 使电子在电镜腔室中运动的加速电压

2. 电子束的会聚角

3. 轰击样品的电子束流大小

4. 到达样品表面的最终束斑直径。

图1：SEM中电子束的四个主要参数：加速电压、会聚角、电子束流和束斑直径