薄膜厚度测量仪(光反射膜厚仪)

NanoCal是一款功能强大的膜厚测量仪器。近几年，每年的销售量
都超过200台（整个世界范围）。NanoCal根据型号不同，测量范围可以从
10nm到250um，它zei高可以同时测量多个膜层中的10个膜层厚度（其中一层为
基底材料）。NanoCal可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜
和半导体膜。也可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。

薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉，干涉的发生与膜厚及折光
系数等有关，因此可通过计算得到薄膜的厚度。光干涉法是一种无损、精确且
快速的光学薄膜厚度测量技术，我们的薄膜测量系统采用光干涉原理测量薄膜
厚度。

应用领域
理论上讲，我们的光干涉膜厚仪可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度。以下为我们zei熟悉的应用领域(半导体薄膜，光学薄膜涂层，在线原位测量，粗糙或弧度表面测量)：
□      晶片或玻璃表面的介电绝缘层(SiO2, Si3N4, Photo-resist, ITO, ...)；
□      晶片或玻璃表面超薄金属层(Ag, Al, Au, Ti, ...)；
□      DLC(Diamond Like Carbon)硬涂层；SOI硅片；
□      MEMs厚层薄膜(100µm up to 250µm)；
□      DVD/CD涂层；
□      光学镜头涂层；
□      SOI硅片；
□      金属箔；
□      晶片与Mask间气层；
□      减薄的晶片(< 120µm)；
□      瓶子或注射器等带弧度的涂层；
□      薄膜工业的在线过程控制；等等…

厚度测量：10纳米-250微米；
可以选择250nm-1100nm间任一波长，也可在该范围内选择多波长分析；

波长: 250-1100nm
厚度范围: 10nm--250µm
分辨率: 0,1nm
重复性: 0,3nm
准确率: <1% (100nm--100µm)
测试时间: 100ms -- <1s
分析层数: 1-- 4 (NanoCal-MS maybe required)
离光纤距离: 1-5mm
离镜头距离: 5mm-- 100mm
入射角度: 90°
光斑点大小: 400µm (选配 25100/200µm)
微光斑手段: 与显微镜联用,1-- 20µm with Microscope 10x/20x/50x Magnification and MFA-Adapter;
光纤长度: 2m (other lengthes on request)
接口: USB 1.1 (RS-232)
电源需求: 12 VDC@1,2A, 220 VAC 50/60 Hz
尺寸: 180mm x 152 mm x 263mm
总量: 3.5 kg

NanoCal-2000系列薄膜分析仪厚度分析可以基于峰的数量，也可以基于峰的形状。我们可以使用平均折射因子或者使用Cauchy numbers进行全部分析。

1、可以测量多层膜中每一层的厚度
2、三维的厚度型貌
3、可做150mm or 300mm 的大范围的扫描测试
4、远程控制和在线测量
5、丰富的材料库：操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据，基本上的常用材料都包括在这个材料库中。用户也可以在材料库中输入没有的材料。
6、软件操作简单、测速快：膜厚测量仪操作非常简单，测量速度快：100ms-1s。
7、软件针对不同等级用户设有一般用户权限和管理者权限。
8、软件带有构建材料结构的拓展功能，可对单/多层薄膜数据进行拟合分析，可对薄膜材料进行预先模拟设计。
9、软件带有可升级的扫描功能，进行薄膜二维的测试，并将结果以2D或3D的形式显示。软件其他的升级功能还包括在线分析软件、远程控制模块等。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途