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上海迹亚国际商贸有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | YES–EcoClean |
| 品牌： | 耶斯 | 产地： | 美国 |
| 关注度： | 10 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 供应商性质 | 一般经销商 | 产地类别 | 进口 |
| 仪器种类 | 等离子体表面处理仪 | 价格范围 | 5万-10万 |
| 设备尺寸 | 56.69*71.12*113.28 | 控制方式 | 自动 |
| 功率 | 1000 | 工作气体 | 1/2/3/4 |
| 样品腔材质 | 玻璃/柔性基板/芯片底部填充清洁 | 样品腔容积 | 63.71 |
| 射频频率 | 0/1000 |
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EcoClean系统为当今和下一代技术创建了先进的解决方案，为工程师提供了晶片的灵活性和可靠性：
•去除光刻胶
•公关目的
•聚酰亚胺去除
•有机物去除
•氧化铜去除
Yield Engineering Systems（YES）已将EcoClean设计为高产量，拥有成本低的单晶圆光刻胶去除系统。 ICP远程源产生原子氧，该氧与晶片表面的光刻胶发生化学反应。 通过采用下游抗蚀剂剥离工艺，可以实现高去除率，而不会造成基板和器件的电损坏或缺陷。 EcoClean提供了自动化的处理方法，气体消耗低，是一种环保的“绿色”解决方案。
YES–EcoClean等离子剥离/脱胶系统信息由上海迹亚国际商贸有限公司为您提供，如您想了解更多关于YES–EcoClean等离子剥离/脱胶系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
