MProbe系列薄膜测厚仪

当一束光入射到薄膜表面时，薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉，干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关，反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度。

反射光谱干涉法是一种非接触式、无损的、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术。

测量范围: 1 nm - 1 mm

波长范围: 200 nm -8000 nm

光斑尺寸:2mum -3 um

产品特点：

a. zei高的测量精度：0.01nm或0.01%

b. 准确度：1nm或0.2%

c. 稳定性：0.02nm或0.02%

d. 强大的软件材料库，包含500多种材料的光学常数

e. 通过Modbus TCP或OPC协议，与其他设备联用

适用于实时在线测量，多层测量，非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如：氧化物，氮化物，光刻胶，高分子聚合物，半导体(硅，单晶硅，多晶硅)，半导体化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂层(碳化硅，类金刚石炭)，聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)

标准配置中包含：

1. 主机(光谱仪，光源，电线)

2. 反射光纤

3. 样品台及光纤适配器

4. TFCompanion软件

5. 校准套装

6. 测试样品，200nm晶圆

多种型号可选，每个型号对应不同的测量范围：

测量n和k值，其厚度范围需在25纳米和5微米之间

广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中：

半导体晶圆，薄膜太阳能电池，液晶平板，触摸屛，光学镀膜，聚合物薄膜等

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途