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奥林巴斯半导体显微镜,独有的MIX照明功能让图像更清晰!

发布时间: 2020-09-25 14:43 来源:奥林巴斯(北京)销售服务有限公司

半导体器件中的基础性原材料是晶圆。极高纯度的半导体经过拉晶、切片等工序制备成为晶圆,晶圆经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构,再经过切割、封装、测试成为芯片,广泛应用到各类电子设备当中。


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晶圆表面的电路结构非常复杂,当需要对晶圆样品的电路图案和颜色进行微观观察时,传统方法要求前者采用暗场照明,后者采用明场照明,并在这两种技术之间反复切换。这种观察方法非常耗时,因为创建报告时每种技术都需要图像采集。


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奥林巴斯解决方案

MX63/MX63L用于半导体/FPD检查的工业显微镜提供了传统观察方法的有效替代方法:MIX照明功能。在混合光照下,可以同时观察电路图案和晶圆的颜色信息。混合图像的清晰度有助于提高工作效率和报告的创建。


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薄膜(左:明场 / 右:偏光)

偏光可用于显示材料的纹理和晶体样貌。其非常适合检测晶片和LCD结构。


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硬盘(左:明场 / 右:DIC) 

微分干涉差(DIC)用于帮助观察具有细微高度差异的样品。该技术非常适合用于检测诸如磁头、硬盘介质、以及抛光晶片等具有很小高度差的样品。


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半导体晶圆上的集成电路图形(左:暗场 / 右:MIX(明场 + 暗场)

暗场是检测标本上细微划痕或缺陷以及晶片等镜面样品的理想工具。MIX照明可让使用者即可观察图形也可观察色彩。



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半导体晶片上的光致抗蚀剂残留物 左:荧光 / 右: MIX(荧光 + 暗场)

荧光观察适用于使用专用滤色片立方照明时能够发光的样品。其可用于检测污染物和光致抗蚀剂残留物。MIX照明可实现光致抗蚀剂残留和集成电路图形的观察。



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LCD滤光片 左:透射光 / 右:MIX (透射光 + 明场)

这种观察技术非常适合诸如LCD、塑料以及玻璃材料等透明样品。MIX照明可实现滤色片颜色和电路图形的观察。

先进的分析工具

MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像,让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。


从不可见到可见:MIX观察与图像采集

通过将暗场与诸如明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用,MIX观察技术能够获得独有的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在指定时间仅使用四分之一象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕,对于样品表面纹理的可视化非常有用。


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轻松生成全景图像: 即时图像拼接

利用多图像拼接(MIA)功能, 用户移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速完成图像拼接—电动载物台无需进行该操作。奥林巴斯Stream软件利用模式识别生成全景图像,让用户获得更宽的视场。

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硬币的即时MIA图像

生成全聚焦图像: EFI

奥林巴斯Stream软件的景深扩展成像(EFI)功能可采集高度超出物镜焦点深度的样品图像,并可将其合成一幅全聚焦图像。EFI配合手动或电动Z轴调焦使用,可轻松实现结构可视化的高度图像。其也可在Stream桌面版(Desktop)离线情况下生成EFI图像。


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集成电路芯片上的凸块


利用HDR同时捕捉明亮区域和暗光区域

采用先进图像处理技术的高动态范围(HDR)可在图像内调整亮度差异,从而减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质,从而有助于生成具有专业级外观的报告。


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(左)某些部位存在炫光。(右)暗光区域和明亮区域利用HD获得清晰呈现。


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从基本测量到高级分析

测量对于品质、工艺控制和检测非常重要。基于这一想法,即便是入门级奥林巴斯Stream软件包也融入了交互测量功能的全部菜单,并且所有测量结果与图像文件一起保存以便存档。此外,奥林巴斯Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供面向工作流的直观界面。点击按钮一下,图像分析任务即可快速精准完成。在大幅度缩减重复性任务的处理时间情况下,操作人员可以将精力集中在手边的检测工作上。


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基本测量(印刷电路板上的图形)


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分散能力解决方案(PCB通孔的横截面)


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自动测量解决方案(晶圆结构)


选配晶圆搬送机 — AL120系统    

选配的晶圆搬送机可安装在MX63系列上,实现无需使用镊子或工具即可安全地将硅片及化合物半导体晶圆从片盒转移到显微镜载物台上。卓越的性能和可靠性可实现安全高效的前后宏观检测,同时搬送机还可帮助提高实验室工作效率。


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MX63系统与AL120晶圆搬送机结合使用(200毫米型号)


快速、清洁的检测

MX63系列可实现无污染的晶圆检测。所有电动组件均安装在防护结构壳内,显微镜镜架、镜筒、呼吸防护罩、及其他部件均采用防静电处理。电动物镜转换器的转速比手动物镜转换器更快更安全,缩短检测间隔时间的同时,让操作人员的手始终保持在晶圆下方,避免了潜在的污染。


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防静电呼吸防护罩


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电动物镜转换器


接受所有晶圆尺寸 

该系统可配合各类150–200毫米和200– 300毫米晶圆支架和玻璃板使用。如果生产线上的晶圆尺寸发生变化,以很少的成本即可更改显微镜镜架。有了MX63系列,各种载物台均可用于检测75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圆。


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晶圆支架和玻璃板


让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅

MX 63 和 MX63L 显微镜系统具有多种功能,采用符合人体工学的易用设计,能够提供最大 300mm 晶圆、平板显示器、印刷电路板、以及其他大型样本的高品质观察。该产品采用灵活的模块设计,能够提供适用于多种检查用途的最佳观察系统。通过与奥林巴斯 Stream 图像分析软件结合,从观察到报告生成在内的整体检查过程都变得简单而流畅。

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