OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉）

OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉是一款快速蒸发管式炉，专门用于PVD或CSS法制作薄膜；其炉管外径为11″，炉管内载样盘可放置3″ 的圆形或2″×2″的方形基片；加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体顶端和底部，升温速率高达20℃/s ；温控系统采用PID30段程序化控制，控温精度为±1℃，并且仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出。

主要特点

1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上。

2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Φ76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀。

3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料。

4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10^-2torr，通过分子泵真空度可达10^-5torr。

5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。

6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以精确测量腔内真空度。

技术参数

1、电源：单相AC208-240V（需20A的空气开关）

2、真空腔体：高纯石英管，外径280mm，内径275mm，高229mm

3、加热元件：两组IR红外灯管，额定功率800W，总功率1600W

4、热电偶：S型热电偶2个，分别安装于上下法兰上

5、工作温度：两个加热区域单独工作的最高温度≤650℃，两加热区域最大温差≤350℃

6、加热速率：>8℃/s

7、冷却速率：>10℃/s（600℃-100℃）

8、真空法兰：316不锈钢制作，配有1个KF-25接口、2个1/4″软管接头

9、真空计：数字式真空显示计

可选配件

1、PC控温软件

2、两路混气系统

3、多路浮子混气系统

4、多路质子混气系统

5、真空泵

6、水冷机

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途