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PlasmaPro100 Estrelas牛津仪器半导体检测仪

参考报价: 面议 型号: PlasmaPro100 Estrelas
品牌: 牛津仪器 产地: 英国
关注度: 暂无 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?
PlasmaPro100Estrelas平台旨在满足微电子机械系统(MEMS)、先进封装以及纳米技术市场的各种工艺要求。该平台提供了工艺灵活性,包括光滑侧壁工艺、高刻蚀速率腔刻蚀、高深宽比工艺和锥形通孔刻蚀等,无需更换腔室硬件。硬件设计使其能实现Bosch™和超低温刻蚀工艺,兼容50mm至200mm的衬底。这意味着您只需一台系统,便具备从研发器件到量产的能力。此外,该平台还拥有更高流量的质量流量计、等离子发生器、自由基密度更高、腔体尺寸和泵效率更大,以及快速控制(初始为ALD而开发)。

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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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