产品介绍：
新一代的赛默飞世尔科技Helios5DualBeam具有领先的高性能成像和分析性能的Helios5产品系列，经过精心设计，满足了材料科学研究人员和工程师对FIB-SEM的广泛使用需求，即使是最具挑战性的样品。Helios5DualBeam重新定义了高分辨率成像的标准：最高的材料对比度，最简单、最快、最精确的高质量样品制备，用于S/TEM成像和原子探针断层扫描（APT），以及最高质量的亚表面和3D表征。
在基于HeliosDualBeam系列的久经考验的性能上，新一代的Helios5DualBeam进行了改进优化，以确保系统能够处于手动或自动工作流程的最佳状态。
产品参数：
半导体行业技术参数：
Helios5CX Helios5HP Helios5UX Helios5HX Helios5FX
样品制备与XHR扫描电镜成像 最终样品制备(TEM薄片，APT) STEM亚纳米成像与样品制备 SEM着陆电压
20ev-30kev 20ev-30kev
分辨率 0.6nm@15kev 1.0nm@1kev 0.6nm@2kev 0.7nm@1kev 1.0nm@500ev
STEM分辨率@30kev 0.7nm 0.6nm 0.3nm
FIB制备过程 最大材料去除束流 65nA 100nA 65nA
最终最优抛光电压 2kv 500v
材料科学行业技术参数：
Helios5CX Helios5UX
离子光学 TomahawkHT 离子镜筒 Phoenix
离子束电流范围 1pA-100nA 1pA-65nA
加速电压500V-30kV 500V-30kV
最大水平视场宽度 0.9mm 0.7mm
离子源寿命 1,000hours 1,000hours
电子光学 Elstar超高分辨率场发射镜筒 磁浸没物镜
高稳定性肖特基场发射枪 提供稳定的高分辨率分析电流 电子束分辨率(下限) 0.6nm at 30kV STEM
特点与用途：
Helios5是所有体验级别用户最易使用的DualBeam，操作员培训时间缩短，并且系统设计可帮助所有操作员在各种高级应用程序上实现一致、可重复的结果。提高了生产率：Helios5和AutoTEM5软件的先进自动化功能，增强的稳健性和稳定性允许无人值守甚至夜间操作，显着提高样品制备通量。改善时间和结果：
Helios5DualBeam 现在包括FLASH，这是一种调整图像的新概念。传统的显微镜需要操作员每次获取图像时，通过迭代对中仔细调整显微镜。而使用Helios5DualBeam，屏幕上的简单手势将激活FLASH，并自动调整这些参数。自动调整可以显著提高通量、数据质量并简化高质量图像的采集。
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
