简介YG-1706I-CVD系统由YG-1706管式炉、三路浮子混气系统、内置测温系统及真空系统等组成。真空泵采用双极旋片真空泵，真空度可达到5x10-1Tor......
主要特点1.独特的管式炉立式设计，满足特殊的实验需求2.配备质量混气系统，满足实验气氛需求3.配备冷凝系统，便于气体产物的分离和收集主要技术参数炉体结构双层炉壳......
简介 1200℃加长双温区CVD系统是由加长双温区管式实验电炉，多通道高精度质量流量计混气系统，高真空分子泵系统等组成。可实现真空达0.001Pa混合......
简介 PECVD工艺中由于等离子体中高速运动的电子撞击到中性的反应气体分子，就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应；借助射频等使含......
简介1200℃低真空CVD系统是由滑动式管式实验电炉，混气系统，真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃，通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真......
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