多路质量流量供气系统

产品名称：多路质量流量供气系统

产品简介：质量流量供气系统用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，结合我公司的管式炉，可用作CVD系统和退火炉去研究气体环境影响材料。在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。
我公司供应的产品符合国家有关环保法律法规的规定（含采购商ISO14000环境体系要求），不会造成环境污染；
该产品符合采购商OHSMS18000职业安全健康管理体系标准的要求，不会对接触产品的人员健康造成损害！

主要特点：精度高、运作稳定可靠、工作压力范围宽（可在高压或真空条件下工作）、操作使用方便

技术参数：

可根据客户要求特殊订制
型号        标准量程
GSL-2Z 100sccm、200sccm
GSL-3Z 100sccm、200sccm、500sccm
GSL-4Z 100sccm、200sccm、200sccm、500sccm

质量流量控制器

工作电压：185-245V/50HZ

工作温度：5-45℃

工作压强：3×106Pa

zei大输出功率：18W

准确度：±1%FS

线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
机械压力表

量程范围：-0.1-0.15MPa（0.01MPa/grid）

针阀：316不锈钢

管件：不锈钢1/4

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途