产品名称：多路浮子控制供气系统

主要特点：

本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其是方便三种气体切换使用，而不会造成大气进入加热炉管。
气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。
每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
显示流量准确，可有效地控制气体消耗量。
所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

工作原理：

由气体钢瓶输入两种气体，形成A，B两种组份，经过减压阀减压，输出所需流量的气体，再通过调节每一组分的体积流量，输出预定比例关系的混合气体，达到加热炉所需求得气氛。三个连接头可连接二或三只气体钢瓶（只能同时启用二个钢瓶），如：H2/AR，H2/N2，O2/N2等。
严禁氢气和氧气同时供气，保证安全。
将配比器进口的三个连接头直接连接到15MPa的供气钢瓶上，其中之一是氢气专用连接头，选择连接好两种气体，按顺序开启供气钢瓶上阀门、配比器上对应高压截止阀及三只流量计旋钮，再旋转减压阀旋钮增大气体压力，调节两种气体流量，输出所需要的压力和流量。
本供气（混气）系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统，尤其方便多种气体的切换混合使用；气体压力和流量数据在同一平面直观可读，操作方便；每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全可靠！本系统广泛用于CVD供气系统，气体保护烧结，气体保护退火等。

技术参数：

气路通道：6（可根据客户需求设计1-8通道）
气路流量控制器： 采用质量流量计控制
标准量程（N2)：200，500 SCCM
准确度：±1.5%
线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
zei大压力：3MPa
接口：Φ6,1/4'
显示：4位数字显示
工作环境温度:5~45高纯气体
不锈钢管：Φ6（外）X Φ4内
压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀：Φ6

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途