滨松中国参展慕尼黑上海光博会，精彩热点回顾

2018年3月14日至15日，慕尼黑上海光博会在上海新国际博览中心举行，承接刚落幕不久的美国西部光电展，这次滨松也在中国继续这场新一年的光电技术新风。 

自动驾驶激光雷达：核心半导体器件 

从十米级测距到数百米级的激光雷达，这次我们展示了一系列颇具代表性的探测器。相对来讲，有两类产品获得了比较多观展者的青睐。 

首先是APD。随着激光雷达的发展，多种方法登上舞台，标准品APD阵列应运而生，目前滨松的APD阵列最多可提供到64路并行输出的APD阵列，像元由于为同一硅片制作，像元间gap较小。 

64ch硅APD阵列S14512-01CR

同时，在传统APD阵列基础上开发了集成TIA阵列在内的光IC探测器芯片，这个探测器芯片内的TIA阵列可以实现的功能除了前置放大外，还可以终止APD对直流光的响应，我们再也不用担心强直流背景光对APD的影响了。 

另外，MEMS mirror也在展会中尤其受到了欢迎。滨松电磁式MEMS振镜具备两种能力，线性模式与非线性模式（谐振模式），线性模式的MEMS振镜偏转角度与电流大小成正比关系，光学偏角精度高，振动频率在一定范围内可调；非线性模式的MEMS振镜工作在谐振频率上，偏转角度最大。目前MEMS振镜的潜在应用不仅针对无人驾驶，还包括3D建模，抬头显示，光交换等领域，根据两种模式的不同特点来选择合适的振镜。

激光扫描振镜系统DEMO

当然不止这两类产品可以应用在激光测距、激光雷达中，根据距离、方法、性能的不同需求展出中我们还呈现了CMOS图像传感器、距离传感器、PD、MPPC（硅光电倍增管）等产品。

空气污染监测技术QCLAS：InAsSb红外探测器 + QCL的整体方案 

QCLAS（量子级联激光调谐吸收光谱）技术是利用中红外光指纹峰来判断气体的种类和浓度的一种办法。当今TDLAS近红外技术已经成熟地应用于探测气体分子，常规的例如恶臭气体、氮氧化物和硫的氧化物，等等。但是特别依赖于前处理和反射池设计，干扰太多，也不能广泛用于户外环境遥测。而滨松可以提供一整套“中红外探测器+QCL光源”方案。 

滨松QCLAS DEMO

目前常见的污染气体（有机/无机）在4μm~10μm内都有多重的、极其强烈的吸收峰。在这更宽的波长选择区间，QCL更高的功率可以实现低检出限（ppb以下）、高精度（ppb）、远距离（Km）、抗干扰、多组分（订制波长）。

最关键一点，滨松公司的QCL已经走出实验室，全线产品工作在10～50℃外界环境温度；长时间功率和波长可靠性可以大大节省前处理成本、校准周期和工序！ 

用于QCLAS的环保型InAsSb探测器（无铅，符合RoHS标准）和激光光源QCL（量子级联激光器）搭配更适合环保的出发点。

激光加工：操纵光的空间光调制器

一套针对激光加工应用的三维多点调制DEMO吸引来了不少目光，其核心就是空间光调制器（LCOS-SLM）。

三维多点调制DEMO

LCOS-SLM在其中主要担任了将一束激光分成两个焦面上不同激光点阵（不同图形）的工作，配合光路中的其他元件来进行作业，实现同时多点的光斑整形，并可以通过软件控制实时刷新。

滨松LCOS-SLM的特有介质镜Dielectric Mirror专利，大大提高了对强激光的功率阈值、光利用率、调制精度这三项性能。使其在激光加工中展现出高速、精准、灵活的明显优势。

同时展出的，还有一部半导体芯片观察系统，系统使用一台红外显微镜拍摄半导体芯片，连接一台专门针对900nm-1700nm波段有高灵敏度的滨松红外相机，利用红外光对芯片的穿透能力，就可以看到芯片的内部是否存在缺陷

半导体芯片观察系统（右）

空间光调制器和科研级相机也经常搭配在一起，实现一些激光调制的应用，如涡旋光、光镊。

热门单品：探测器、转换器件、光源

除了主题展台，综合展台还集结了涵括探测器、转换器件、光源等一系列经典型号和新品。

体外诊断应用中经典的PMT模块，以及新选手μPMT； 
近年被广泛看好的新型半导体器件——MPPC（硅光电倍增管）； 
随着质谱应用迅速崛起而越来越受到关注的MCP； 
一系列颇具话题性的微型化器件，如2W闪烁氙灯、微型光谱仪、MEMS-FPI、首次出展的OEM拉曼模块、InGaAs阵列G13913等等。 

滨松OEM拉曼模块 C13560

1953年滨松成立之初，人们对光子技术的概念还知之甚少。如今，它已在科技应用中无处不在。此次的慕尼黑上海光博会，我们又再一次提出“使能”的概念，滨松将“光”称之为“使能”，对光产业也有着自己特别的认知。立足于锻造最基础的核心力量，助力科技和制造，为开启未知未涉提供更多的可能。

光之使能，力从心生！