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原子层沉积(ALD)
等离子增强化学气相沉积
仪器简介:此系统可用于小批量生产,支持硅系列薄膜梯度覆盖,间隙填补;适用于半导体,太阳能电池工厂研发/实验室及高校研究所/实验室,还包括钝化,绝缘,电介体绝缘......
原子层沉积系统(ALD&PEALD)
仪器简介: 原子层淀积(ALD)技术正逐渐成为了微电子器件制造领域的必须.多年来,原子层淀积技术的应用范围涉及从液晶显示面板(LCD panel)到工业涂 层......
生产型光伏行业专用原子沉积设备
应用: -硅太阳能电池表面钝化(Surface  Passivation) -生产用(量产型) 特点: -过程保证 -高产出:>1600 wp......
石墨烯CVD
应用: - 大面积石墨烯(Graphene )沉积:>150mm wafers 优势: - zei佳研发用 -低廉的价格 -沉积参数数字化控制 -加热和......
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