-精密、大型非接触影像测量仪器
-可应用多种传感装置：接触式，CCD，Laser
-适合半导体LCD零件测量

X Y Z

测量范围(mm)
300～1,500 300～2,000 50～ 300
分辨率(µm)
0.5/0.1
zei大允许误差
(µm,L:mm)
1.0+L/300～3.5+L/300
zei大速度(mm/s)
400
空气需求(kg/c

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途