特点
*    常规的接触式轮廓仪和扫描探针显微镜技术的完美结合。
*     双模式操作（针尖扫描和样品台扫描），即使在长程测量时也可以得到zei优化的小区域三维测图。
*    针尖扫描采用精确的压电陶瓷驱动扫描模式，三维扫描范围从
10μm X 10μm 到 500μm X 500μm。样品台扫描使用高级别光学参考平台能使长程扫描范围到50mm(或更大)。
*     在扫描过程中结合彩色光学照相机可对样品直接观察。
*    针尖扫描采用双光学传感器，同时拥有宽阔测量动态范围（zei大至500μm）及亚纳米级垂直分辨率（zei小０.１nm  ）
*     软件设置恒定微力接触。
*     简单的2步关键操作，友好的软件操作界面。

应用
—三维表面轮廓测量和粗糙度测量，即适用于精密抛光的光学表面也可适用于质地粗糙的机加工零件。
—薄膜和厚膜的台阶高度测量。
—划痕形貌，磨损深度、宽度和体积定量测量。
—空间分析和表面纹理表征。
—平面度和曲率测量。
—二维薄膜应力测量。
—微电子表面分析和MEMS表征。
—表面质量和缺陷检测。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途