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光学干涉显微镜的原理及应用介绍

发布时间: 2015-11-15 18:20 来源: 布鲁克(北京)科技有限公司-纳米表面仪器

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Interferometry: Technology and Applications

光学干涉显微镜的原理及应用介绍。本文详尽地介绍了光学轮廓仪的技术理论基础,分析方法。同时列举除了光学干涉技术在不通领域里的应用实例及测试结果。本文简单易懂,对光学干涉技术做了一个详解的介绍。


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