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使用椭圆偏振光谱仪表征封装应用中的势垒层
发布时间：
2016-09-21 15:43
来源：
HORIBA科学仪器事业部
| 领域： | 其他 | ||
| 样品： | 封装应用中的势垒层 | 项目： | 过程控制 |
| 方案文件名 | 下载 |
|---|---|
使用椭圆偏振光谱仪表征封装应用中的势垒层 |
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The UVISEL FUV combines high-speed acquisition, high accuracy and versatility with a straightforward recipe mode for automated tasks. This powerful combination allows the UVISEL spectroscopic ellipsometer to be used for monitoring the production of barrier coatings for packaging applications in real time.
