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UVISEL 2 VUV 真空紫外椭偏仪

参考报价: 面议 型号: UVISEL 2 VUV 真空紫外椭偏仪
品牌: 堀场HORIBA 产地: 法国
关注度: 1251 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
价格范围30万-50万
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

专为VUV 测量设计,整个系统处于真空状态,无氧气吸收。具备高度准确性;独一无二的超快测量速度;快速样品室抽真空能力,方便快速更换样品;氮气消耗量少。

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产品特点

  • 50KHz 高频PEM 相位调制技术

  • 45 秒内完成充氮气

  • 2 分钟内完成样品室抽真空

  • 8 分钟内完成光谱全谱范围内测量

  • 两种工作模式:氮气清洗结合抽

  • 真空、连续氮气清洗

  • 光谱范围:147nm~850nm;147nm~2100nm


重点应用领域

  • 超薄膜

  • 157nm 光刻新材料

  • 有机材料、高分子材料

  • 高k 材料:HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz

  • 抗反射涂层

  • 半导体和介电材料电子跃迁

  • MgF2、CaF2、LaF3


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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