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参考报价: | 面议 | 型号: | UVISEL 2 VUV 真空紫外椭偏仪 |
品牌: | 堀场HORIBA | 产地: | 法国 |
关注度: | 1251 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 | |
价格范围 | 30万-50万 |
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专为VUV 测量设计,整个系统处于真空状态,无氧气吸收。具备高度准确性;独一无二的超快测量速度;快速样品室抽真空能力,方便快速更换样品;氮气消耗量少。
产品特点
50KHz 高频PEM 相位调制技术
45 秒内完成充氮气
2 分钟内完成样品室抽真空
8 分钟内完成光谱全谱范围内测量
两种工作模式:氮气清洗结合抽
真空、连续氮气清洗
光谱范围:147nm~850nm;147nm~2100nm
重点应用领域
超薄膜
157nm 光刻新材料
有机材料、高分子材料
高k 材料:HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
抗反射涂层
半导体和介电材料电子跃迁
MgF2、CaF2、LaF3
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途