用微型高分辨率光谱仪监控等离子体

基于海洋光学HR2000+高分辨率光谱仪的模块化光谱系统被用于监控将不同气体导入等离子体反应室后氩等离子体发射的变化。 在密闭的反应室内，用配备光纤和余弦校正器的光谱仪进行测量，透过反应室上的小视窗进行观察。 测量结果指出模块化光谱组件能实时获得等离子体反应室中的等离子体发射光谱。 根据这些发射光谱得到的等离子体特征可用于监控基于等离子体的过程。