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美国Laurell匀胶机650-23N-匀胶机使用步骤

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参考报价: 面议 型号: WS-650-23NPPB
品牌: 劳瑞恩 产地: 美国
关注度: 48 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
供应商性质区域代理产地类别进口
价格范围5万-10万
腔体直径 9.5英寸 (241 毫米);基片直径 10-150mm直径的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的转接托盘);
最大加速度 0-30000rpm/sec(空载)旋转精度 <0.2rpm,重复性< 0.2rpm
旋转速度 0-12,000rpm
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

匀胶机(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜 
  详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater& Spin Processor) 
  行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机

一、产品概述:

匀胶机WS-650Mz-23NPPB适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。美国Laurell匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是650S 型匀胶机的特点。

二、匀胶机工作原理:
 匀胶机WS-650Mz-23NPPB(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。三、匀胶机WS-650Mz-23NPPB主要性能指标:
  1、腔体尺寸:9.5英寸 (241 毫米);

     2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的转接托盘);

3、转动速度:0-12,000rpm,

4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空载);

5、马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%;

6、转速调节精度:<0.2rpm,重复性< 0.2rpm;

7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step   0.1 精度;

8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;

9、高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。

10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;

11、分辨率:分辨率小于0.5转/分,可重复性小于±0.5转/分,美国国家标准技术研究院(NIST)认证过的,并且无需再校准!]
12、配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;

13、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件;

14、原装进口水平测试仪;  
  

可选配置:

IND构造为湿站系统设计,带远程控制;

OND构造为手套箱系统设计,带远程控制;

UD自动滴胶装置:UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒,

EBR(Edge   Bead Remover):晶圆去边,机械装置;


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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