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工商注册信息已核实!参考报价: | 面议 | 型号: | EMS1050 |
品牌: | EMS | 产地: | 美国 |
关注度: | 32 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 | |
供应商性质 | 生产商 | 产地类别 | 进口 |
仪器种类 | 等离子体清洗器 |
设备尺寸 | Dia110mmX160mmH | 控制方式 | 自动 |
功率 | 0.6kw | 工作气体 | 1 |
样品腔材质 | Pyrex | 样品腔容积 | 0.48L |
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应用领域:
生物芯片领域
医用材料、光学材料研究
电子半导体领域
高分子材料研究
电化学、高端零部件处理
有机材料的灰化、刻蚀
仪器性能:
自动调频高频发生器
内置旋转真空泵
此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀
低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)
真空监测.
双重气流针阀控制
精确时间定时
微处理器程序设置
LCD状态数字显示
腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,样本操作方便
聚碳酸脂安全防护
技术参数:
整机尺寸 | 450mm(W)x350mm(D)x300mm(H) |
工作腔室 | 派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.) (硼硅酸盐玻璃为标准配置) |
重量 | 25Kg |
等离子体输出 | 最大150w,13.56 MHz 。 |
真空度 | >ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar. |
时间控制 | 最长可设置99小时59分钟 |
双重气流控制 | 双重针阀气流控制,可选1种或2种气体(校准 5-100cm3/min air at A.T.P) |
电源 | 230 V, 50Hz (3 amp Max) |
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途