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光学元件上微小异物的测定–采用红外显微镜AIM-9000 进行扫描和识别 |
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岛津公司的异物自动分析系统(红外显微镜)AIM-9000 采用将微小部分作为测定目标的光学设计,可以在短时间内获得微米级异物的清晰光谱。本文向您介绍使用本系统对光学元件表面附着的约10μm微小异物进行测定的示例。