高纯氦气痕量杂质快速分析

超高纯度惰性气体在电子工业，半导体工业和分析检测中都有重要的应用，如作为保护气，和作为分析的载气等。因此相关的工业过程对超高纯气体里的杂质有着非常严格的要求，微量的永久性气体和二氧化碳检测是必不可少的，因为这些成分会影响气体的质量，从而影响工业过程及其价值。本文利用气相色谱法（脉冲放电氦电离化检测器(PDHID)）实现对高纯氦气中的ppb级杂质气体组分完全分离后进行痕量组分定量分析。