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日立白光干涉仪之超光表面
所谓超光滑表面,主要具有以下特征:表面粗糙度小于1nm(Ra)、尽可能小的表层和亚表层损伤、表面残余应力极小、晶体表面具有完整的晶体结构。通过日立白光干涉仪可以分析常见的超光滑表面性能。
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日立白光干涉仪之多层膜测量分析
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