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冷场发射扫描电子显微镜 JSM-7500F

发布时间: 2010-07-06 15:32 来源:日本电子株式会社(JEOL)
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冷场发射扫描电子显微镜 JSM-7500F

主要特点:
1.主动式减震器
2.最先进的磁悬浮分子泵系统,无需UPS保护
3.标配的五轴马达驱动全对中样品台
4.全自动样品更换气锁
5.全自动样品监控系统
6.全自动物镜光阑
7.多通道显示系统
8.自动减速系统标准配置
技术参数:
1.分辨率:1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)
2.加速电压:0.1KV-30kV
3.放大倍数:25-100万倍
4.样品室尺寸:最大200mm直径样品
5.束流强度:10-13到2X10-9

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