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FBM-160 氟离子浓度分析仪在半导体厂总排口的应用
发布时间：
2019-03-07 09:13
来源：
哈希水质分析仪器（上海）有限公司
| 领域： | 其他 | ||
| 样品： | 氟离子浓度 | 项目： | 氟离子浓度 |
| 参考： | 氟离子浓度 | ||
| 方案文件名 | 下载 |
|---|---|
FBM-160 氟离子浓度分析仪在半导体厂总排口的应用 |
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背景介绍
上海市某半导体厂，专注于研发和制造专业应用的晶圆。晶圆生产工艺复杂，其中蚀刻工
序使用氢氟酸溶液进行蚀刻、并用高纯水清洗，在这个工序中产生了大量的高浓度含氟废
水，含氟废水经过加药、混凝沉淀处理后达标排放。
该半导体厂在总排口处安装了一台 FBM-160 氟离子浓度分析仪。根据国标《污水综合排
放标准》（GB8978-1996）以及上海市环境保护局发布的地方标准《半导体行业污染物排放标
准》（DB31），该半导体厂执行三级标准，其总排口的氟限值为 20 mg/L。
