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FBM-160氟离子浓度分析仪在半导体厂总排口的应用

发布时间: 2018-10-14 20:41 来源: 哈希水质分析仪器(上海)有限公司
领域: 环境水/废水/饮用水
样品:FBM-160氟离子浓度分析仪项目:半导体厂总排口
参考:应用案例- FBM-160氟离子浓度分析仪在半导体厂总排口的应用- Power

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FBM-160氟离子浓度分析仪在半导体厂总排口的应用

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1.背景介绍


海市某半导体厂,专注于研发和制造业应用的晶圆。 晶圆生产工艺复杂,其中蚀刻序使用氢氟酸溶液进行蚀刻 、并用高纯水清洗, 在这个工序中产生了大量的高浓度含氟废水,含氟废水经过加药 、混凝沉淀处理后达标排放 。
该半导体厂 在总排口处安装了一台 FBM-160氟离子 浓度 分析仪。 根据 国标 《污水综合排 放标准 》(GB8978-1996)以及上海市环境保护局发布的地方标准


《半导体行业污染物排放标准》(DB31),该半导体厂执行三级标准,其总排口的半导体厂执行三级标准,其总排口的氟限值为 20 mg/L。


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