工作台

玻璃台尺寸（mm）

570*470

运动行程（mm）

500*   400

Z轴行程(mm)

电动升降行程

200（自动对焦）电动

可測工件高度

≦100

光栅尺分辨力(μm)

0.1μm

X、Y坐标示值误差(μm)

2.5+ L/200  (L为测量长度，单位mm)

X、Y轴运动方式

手动摩擦传动轴

影像系统

200万像素彩色1/2”CCD摄色机：；结合测量软件QMS3D

显微镜系统

OLYMPUS

目镜：10倍

滤光片：黄、绿、蓝、 白

量测模式：反射，透射，偏光, 微分干涉棱镜

5孔物镜转换镜

照明系统

透射照明光源： 15V 150W   LED，亮度可调

同轴照明光源：12V 100W卤素灯，亮度可调

物镜

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距离   (mm)

18.0

15.0

4.5

11.0

总放大倍率

目视

50X

100X

200X

500X

21.5寸视频

301.625X

603.25X

1206.5X

3016.25X

其他参数

外形尺寸 (mm)

1270*1150*1860

仪器重量 (kg)

850

电源功耗

~220V    50/60Hz  < 60W(不包含计算机)

Ⅰ

主机

1

主机

JTM-5040H

1

2

光学镜组

OLYMPUS

1

3

摄像机

IDS彩色200W CCD摄像机

1

Ⅱ

软件系统

1

影像软件

自主研发HL-QMS3D-M测量软件

1

Ⅲ

其他

1

计算机

品牌电脑，带正版操作系统、

1

预定中心灯箱

N2757786

U-LH100L-3-7(C)

Lamp house for 100W halogen   with connecting cable   Corresponded to RoHS, WEEE   regulations

1

长寿命卤素灯

1124586

JC12V100WHAL

Halogen bulb (Philips No.   7724)for     AX70/80,BX50/51/52/60/61/62IX70     /71/81,AHBS/3,AHBT/3,BHS/U IMT2      (100W)   (Made in Germany)

2

白平衡滤色片

6397600

U-25LBD

LBD filter slider for     reflectedillumination tube

1

中灰密度滤色片25%

6299100

U-25ND25

Neutral density filter for   incident light

1

起偏镜

6399600

U-PO3

Polarizer slider for reflected   illumination tube

1

检偏镜

N2738400

U-AN-2

Analyzer slider for reflected   light illuminator   Corresponded to RoHS regulation

1

微分干涉棱镜

3974500

U-DICR

Nomarski differential     interference contrast prism     slider for reflected light

1

灯箱电源

N2659686

TH4-200-1-5(C)

Power supply

1

灯箱电源控制开关

N2659486

TH4-HS

Hand switch for TH4

1

电动5孔万能物镜转盘

N2662586

U-D5BDREM-1-5(C)

Motorised quintuple revolving   nosepiece with a slot for   analyzer or DIC slider

1

物镜转盘控制器

4348086

U-REMPS-2(C)

Power supply for motorised   revolving nosepiece

1

物镜转盘控制键盘

3973986

U-HS(C)

Hand switch for motorized     revolving nosepiece

1

万能平场半复消色差5X

N2182000

MPLFLN5XBD

M Plan Semi Apochromat BD   objective lens 5x/N.A. 0.15, W.D. 12mm

1

万能平场半复消色差10X

N2182100

MPLFLN10XBD

M Plan Semi Apochromat BD   objective lens 10x/N.A. 0.3, W.D. 6.5mm

1

万能平场半复消色差20X

N2182200

MPLFLN20XBD

M Plan Semi Apochromat BD   objective lens 20x/N.A. 0.45, W.D. 3.0mm

1

50倍校正物镜

N2216300

LCPLFLN50XLCD

LCD Long Working Distance   Plan Semi Apochromat   Objective Lens 50x   /N.A. 0.7, W.D. 3.0-2.2mm   with correction collar

1

物镜转接环

4676700

BD-M-AD

Objective adapter

1

正向三目观察筒

N2167200

U-ETR4

Erect image trinocular tube   Body color: cool white   Camera port: IR transmission   has improved   Lead free glass is used for   tube lens

1

目镜

N4257600

WHN10X-1-7

Widefield eyepiece 10X

2

0.5X照相接口

N2757200

U-TV0.5XC-3

Video attachment with 0.5X lens

1