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伯东企业（上海）有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | 伯东离子蚀刻机 20IBE-C |
| 品牌： | NS | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 11 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
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发布时间：2020年11月
上海伯东日本原装进口适合中等规模量产使用的离子刻蚀机, 样品台可选直接冷却 / 间接冷却
伯东离子蚀刻机 IBE 主要优点:
1. 干式制程的微细加工装置, 使得在薄膜磁头, 半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用.
2. 物理蚀刻的特性, 无论使用什么材料都可以用来加工, 所以各种领域都可以被广泛应用.
3. 配置使用美国考夫曼离子源
4. 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状.
5. 基板直接加装在直接冷却装置上, 所以可以在低温环境下蚀刻.
6. 配置公转自转传输机构, 使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面.
7. 机台设计使用自动化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生产过程.
伯东离子蚀刻机 20IBE-C技术参数:
| 基板尺寸 | < Ф3 inch X 8片 |
|
样品台 | 样品台可选直接冷却 / 间接冷却0-90度旋转 | ||
离子源 | 20cm 考夫曼离子源 | ||
均匀性 | ±5% for 8”Ф | ||
硅片刻蚀率 | 20 nm/min | ||
温度 | <100 |
伯东离子蚀刻机 20IBE-C 组成:
NS 离子蚀刻机通氩气 Ar 不同材料的蚀刻速率:
伯东离子蚀刻机 20IBE-C信息由伯东企业（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于伯东离子蚀刻机 20IBE-C报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
φ4 inch X 6片
可选
