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HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列

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参考报价: 面议 型号: HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200
品牌: HVA 产地: 美国
关注度: 暂无 信息完整度:
样本: 暂无样本 典型用户: 暂无

HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列为百万周期真空闸阀, 专为高真空应用而设计, 特别适合 1x10-9 mbar 高真空且烘烤温度不超过 150°C的应用.

HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列内部没有机械锁, 非常适合对于要求无振动运行的半导体和敏感工艺. 所有活动关节的轴都经过硬化处理, 减少了颗粒物的产生并提供了更平稳的驱动.

清洁和高密封性保证 HVA 真空阀门与低温泵、涡轮分子泵, 离子泵等完美联用.

上海伯东是美国 HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商.


HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品特点:

1. 直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器.

2. 独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小.

3. HVA真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业.

4. 所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易.

5. HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界最小的内部表面区域.

6. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的最大完整性.

7. 在保养方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来.

8. 阀门驱动手动、气动可选.

9. 标准或定制法兰满足不同应用.

10. HVA 标准周期真空阀门 21200 系列可任意位置安装.

11. 电磁阀控制并带有手动超控.


HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列 技术参数:

阀门材质:


阀门主体

304不锈钢

焊接波纹管轴封

AM-350

驱动轴和驱动销

硬质不绣钢

密封件

氟橡胶

真空:


压力范围

1x10-9 mbar

漏率

< 2x10-9  mbar l/S

差压关闭

1 bar (任意位置)

开启前最大压力

≤ 30 mbar

烘烤温度(不含电磁阀):


佛橡胶密封

150 °c

驱动方式

手动 60 °c; 气动 60 °c

使用寿命:1,000,000启闭次数


公称通径:DN16-320 mm



HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品订货号

DN

Model


mm

inch

Number

16

0.625

21212-006_

40

1.5

21212-015_R

50

2

21212-020_R

63

2.5

21212-025_R

80

3

21212-030_R

100

4

21212-040_R

160

6

21212-060_R

200

8

21212-080_R

250

10

21212-100_R

320

12

21212-120_R

 
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品选件
1. 定制法兰
2. 带铜帽的特高压版本
3. 备用O形圈材料
4. 备用螺线管电压
5. 位置指示器的微动开关
6. 粗加工口
7. 电机操作员
8. 高温组件,包括O形圈,微动开关和执行器。
9. 较大的尺寸

 

HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品部件图

HVA 百万周期真空闸阀 21200 产品部件图


伯东是德国 Pfeiffer 真空泵检漏仪质谱仪真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

 

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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