技术参数：

l 自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和最佳的导电喷镀效果。

l 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

l 操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

l 在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，

l 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

l 可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

l 样品室大小：直径120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75")

l 样品台：可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm

l 溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流40mA，程序化数字控制

l 溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

l 模拟计量：真空： Atm - 0.001mbar，电流：0-50mA

l 控制方法: 自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s），自动放气.整个操作亦可全手动控制。

l 真空泵：原装进口，抽气速率: 6.0 m3/小时 ，真空度到 0.1mb所需时间30秒.

l 桌上系统: 真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统

l 保修期：免费保修一年

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途