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重视基本性能、超紧凑设计的ESCA。测定操作简单,可自动分析多种样品,适于质量管理分析与生产管理分析。备有用于快速深度方向分析的离子枪(选配)。
●灵敏度/分辩率:700kcps(Ag3d5/2、1.15ev) ●X射线源:Mgkα12kv、30mv ●到达真空度:5×10-7Pa以下
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