WIVS-Ⅲ型白光干涉三维轮廓测量仪

一、用途
（1）二、三维表面形貌测量 （2）膜厚和台阶测量
（3）刻线和沟槽尺寸测量 （4）任意曲面形貌测量
（5）球面和非球面轮廓非接触测量 （6）MEMS器件三维尺寸测量
（7）微光学元件测量
二、仪器构成
（1）宽带光干涉显微镜 （2）垂直位移扫描工作台
（3）摄像及图像处理系统 （4）工控机
三、测量原理
（1）相移扫描干涉（PSI） （2）垂直扫描白光干涉干涉（VSI）
四、性能指标（基本配置）
（1）垂直测量范围 0～50µm （2）垂直分辨率 1nm
（3）测量区域 0.32mm×0.24mm （4）显微镜数值孔径 0.4
（5）显微镜放大倍数 25× （6）光学分辨率 0.5
（7）表面反射率 1％～100％ （8）CCD有效像素 768×576
（9）扫描速度 5µm/s
注：用户可根据需要选择不同放大倍数的显微镜，10×、25×、40×、60×可选择。
五、软件及功能
1 虚拟仪器操作界面，包括：
（1）取样长度选择； （2）评定长度选择；
（3）取样长度内采样点数选择； （4）测量速度选择；
（5）传感器量程的选择； （6）传感器定标。
2 滤波选择
（1）zei小二乘中线（面）方法； （2）算术平均中线（面）方法；
（3）多项式方法； （4）高斯方法。
3 评定参数
（1）国家标准6个评定参数；
（2）ISO4287 43个评定参数；
（3）国际上推荐的14个三维评定参数。
4 图形
（1）二维图形，包括原始轮廓曲线、不同滤波方法滤波后轮廓曲线、tp曲线等；
（2）三维图形，包括：轴测图、倒置图、等高图、等截距截面图、面支撑率图、灰度图等。
5 形状误差、波度、表面粗糙度分离评定软件。 

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途