WIVS-II型 垂直扫描白光干涉表面轮廓测量仪

仪器的原理，主要构成与特点与WIVS-I型 基本相同，其区别如下：
1 、干涉显微镜为自主设计，具有4x、10x、20x、40x、60x、100x等显微镜组，用户可根据测量视场范围及横向分辨率的要求挑选。而WIVS—I型由于是6JA干涉显微镜改造而来，其物镜是固定的，为40x。因此WIVS-II型干涉显微镜的测量视场扩大了，显微镜的分辨率，范围的选择扩 大了。
2 、WIVS-II型 垂直扫描白光干涉表面轮廓测量仪垂直扫描时的驱动对象为：
驱动镜头进行垂直方向的扫描。

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