您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息
EVG公司是一家致力于半导体制造设备的全球供应商,其丰富的产品系列包括:涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、掩模版光刻/键合对准系统、基片热压键合/低温等离子键合系统、基片清洗机、基片检测系统、SOI 基片键合系统、基片临时键合/分离系统、纳米压印系统。
目前已有数千台设备安装在世界各地,被广泛地应用于MEMS微机电系统/微流体器件,SOI基片制造,3D封装,纳米压印,化合物半导体器件和功率器件等领域。
EVG610是一款非常灵活的、适用于研发和小批量试产的对准系统,可处理zui大200mm之内的各种规格的晶片。EVG610支持各种标准的光刻工艺,例如:真空、软、硬接触和接近曝光;也支持其他特殊的应用,如键合对准、纳米压印光刻、微接触印刷等。EVG610系统中的工具更换非常简便快捷,每次更换都可在几分钟之内完成,而不需要专门的工程人员和培训,非常适合大学、研究所的科研实验和小批量生产。
二、应用范围
EVG光刻机主要应用于半导体光电器件、功率器件、微波器件及微电子机械系统(MEMS)、硅片凸点、化合物半导体等领域,涵盖了微纳电子领域微米或亚微米级线条器件的图形光刻应用。
三、主要特点
u 支持背面对准光刻和键合对准工艺
u 自动的微米计控制曝光间距
u 自动契型补偿系统
u 优异的全局光强均匀度
u 免维护单独气浮工作台
u zui小化的占地面积
u Windows图形化用户界面
微流控芯片加工:EVG 610单面/双面光刻机广泛地应用于MEMS微机电系统/微流体器件,EVG 光刻机610系列
微流控芯片加工:EVG 610单面/双面光刻机广泛地应用于MEMS微机电系统/微流体器件信息由北京亚科晨旭科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于 微流控芯片加工:EVG 610单面/双面光刻机广泛地应用于MEMS微机电系统/微流体器件报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语
GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB/T 2900.104-2021 电工术语 微机电装置
GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术.版图设计基本规则
GB/T 50780-2013 电子工程建设术语标准
T/CSTM 00839-2022 材料基因工程 术语
T/CASAS 017-2021 第三代半导体 微纳米金属烧结技术 术语
GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
GB/T 33905.3-2017 智能传感器 第3部分:术语
IPC 7095D-WAM1 CHINESE-2018 A1-2019 (2) IPC 7095D-WAM1 CHINESE-2018 A1-2019 (2)
QJ 2828A-2016 QJ 2828A-2016
GB/T 27990-2011 生物芯片基本术语
GB/T 41521-2022 多指标核酸恒温扩增检测微流控芯片通用技术要求
T/AHEMA 23-2022 MEMS VOC 气体传感器技术要求
SN/T 5336-2020 猪瘟病毒及非洲猪瘟病毒检测 微流控芯片法
T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范
GB 51037-2014 微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范
GB 50809-2012 硅集成电路芯片工厂设计规范
T/ZACA 031-2020 食源性致病菌快速检测 微流控芯片法
YY/T 0692-2008 生物芯片基本术语
环境监测热点项目培训专场
食品真实性鉴别与溯源
"传承·创新·发展" —— 产学研深度融合推动中药现代化网络研讨会
酒类相关标准制修订情况及应用解读
微流控芯片加工:EVG 610单面/双面光刻机
EVG800系列键合机:EVG810LT(低温)等离子激活系统
Copyright ©2007 ANTPedia, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号