徕卡显微镜Leica DM3 XL 微电子和半导体用检验系统可用于橡胶,塑料,纤维,涂料,地矿/钢铁/有色金属,电子/电器/半导体,航空/航天(徕卡)

将目视检验和定性化学检验组合在一个工作步骤中，与使用传统 SEM/EDS 检验相比， 测定微观结构成分 的时间可节省 90%。集成激光光谱功能可在一秒钟内针对您在显微镜中看到的材料结构提供准确的化学元素图谱。

• 用于目视和化学分析的二合一系统

• 1 秒即可获得化学元素图谱

• 无需样品制备

完成！

只需一次单击，即可准确检查通过目镜或摄像头观察的物质，从而快速简单的识别和解释。操作员不需要额外的专业知识。

实现快速精确材料分析的二合一系统

DM6 M LIBS 的集成激光光谱功能可在一秒钟内提供在显微镜图像中所观察微观结构的化学成分。

识别感兴趣的微观结构成分，随后只需单击一下，即可触发 LIBS 分析。

优势概览

• 与典型的电镜方法*相比，节省 90% 的时间，而且

• 以可靠的目视和化学检验材料信息为基础，快速做出自信的决策。

无需 SEM 样品制备

为什么使用 DM6 M LIBS 解决方案进行材料分析能节省 90% 的时间？因为这种解决方案：

• 无需样品制备和转移；

• 无需系统调节；且

• 无需重新定位感兴趣区域 (ROI)。

   

减少工作流程

将工作流程精简至只有一个步骤，以结果为重点。

在微电子和半导体行业中，检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快，您做出响应的速度也就越快。DM3 XL 检验系统凭借大视场帮助您的团队更快地识别缺陷，提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜，视场宽敞 30%。

性能与优点

更多细节尽收眼底，工作更高效

看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到 6" 的大组件，DM3 XL 提供独特的宏观物镜。

利用 0.7x 放大倍率，它可以即刻采集 35.7 mm 的视场 – 比其他常规扫描物镜宽敞 30%。

在宏观物镜下，缺陷无所遁形：

• 提高您的收益率

• 可靠检测晶片边缘或中心显影不足的区域

• 检测不均匀的径向膜厚度

适用于所有相衬观察方法的 LED

DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温，并在所有亮度等级下提供真彩色成像。

在所有亮度等级下实现真彩色成像

• 自由调节

• 无需更换灯泡 – 无停机时间

• 可复制的结果

由于 LED 使用寿命长，耗电量低，因此还具有巨大的成本节约潜力。

光学“高手”

DM3 XL 让您以实惠的价格享受到卓越的光学性能。

• 采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑：以简单有效的方式从不同角度照亮样品，从而实现各种形貌的可视化。

• 借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。

您将对明显提高的灵敏度和分辨率感到震惊。

不同样品 – 可变载物台插件

无论您想要检验的样品是哪种类型，尺寸如何，均有种类丰富的载物台插件供您选择：

• 载物台尺寸：150 mm x 150 mm

• 载物台插件：金属插件、晶片支座或掩模支座

• 快速的粗略或精准载物台定位

工作舒适直观

彩色编码光圈辅助 (CCDA) 对分辨率、对比和景深的基本设置进行简化，有助于提升您的工作速度，并zei大程度减少操作失误。

直观明了的功能帮助您的团队更快速地交付zei佳结果。 

• 得益于可轻松操作的控件，用户可在切换对比度或照明时，双手继续操作显微镜，双眼专注于样品之上。

• 右手可轻松操控光强控制器

• 使用可变人体工学镜筒和调焦旋钮，根据不同身高调整显微镜

徕卡显微镜Leica DM3 XL 微电子和半导体用检验系统可用于橡胶,塑料,纤维,涂料,地矿/钢铁/有色金属,电子/电器/半导体,航空/航天,Leica DM3 XL

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