二. 主要技术指标: 型号:NPGS zei细线宽(μm):根据SEM zei小束斑(μm):根据SEM 扫描场:可调 加速电压:根据SEM,一般为0-40kV 速度:5MHz(可选6MHz) A. 硬件: 微影控制介面卡:NPGS PCI-516A High Speed Lithography Board,high resolution (0.25%) 控制电脑:Pentium IV 3.0GHz/ 512Mb RAM/ 80G HD/ Windows XP 皮可安培计:KEITHLEY 6485 Picoammeter B. 软件: 微影控制软件 NPGS V9.0 for Windows2000 或 XP 图案设计软件 DesignCAD LT 2000 for Windows