本公司为您定制专业的超高真空(UHV)系统,包括:超高真空沉积系统、超高真空表面分析系统、超高真空表征系统。
我们曾经定制过的系统包括:
1)X射线光电子能谱(XPS)或电子光谱化学分析仪(ESCA)系统(带in-situ SMOKE)
2)扫描俄歇显微镜系统(Scanning Auger Microscope System)
3)二次离子质谱分析(TOM SIMS)
4)超高真空离子束辅助沉积系统(UHV ion beam assist deposition (IBAD) system)
5)超高真空热处理系统(High vacuum heating system for 8” wafer @ 1200 C)
6)超高真空电子束沉积系统(UHV e-beam evaporation system)
7)超高真空脉冲激光沉积系统(UHV PLD system)
8)超高真空溅射系统(UHV sputtering system)
我们的超高真空系统的设计原则:
1)结构紧凑
a.腔体尺寸优化,易于装配
b.高真空泵效率
c.低制造和维护成本
2)完全按照客户定制
a.完全按需提供
b.现有设备改造
3)高品质
关键部件来自著名配件供应商(Pfeiffer, MDC, Huntington, MeiVac, Angstrom Sciences, Variant, VAT, Heat Wave Lab, Transfer Engineering, …, etc.)
欢迎广大有特殊需求或者经费有限的超高真空客户跟我们合作。希望我们能为您的科研工作提供完美的解决方案。
超高真空系统,UHV
超高真空系统信息由北京飞凯曼科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于超高真空系统报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。