仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H 工作腔室:硼硅酸盐玻璃 165mm Dia x 125mm H 安全钟罩:聚碳酸酯 基座: 110 mm直径 x 115mm高 重量:42公斤 靶:54 mm 直径 x 0.2mm 厚(铬作为标准靶材) 样品台:50mm直径,具有倾斜功能的旋转样品台 操作真空:1 x 10-2 mbar到 1 x 10-4 mbar 溅射电流:0-150mA 沉积速率:0-20nm/分 溅射定时: 0-4 分钟 涡轮分子泵:60 litres/Second (极限真空 1x10-8 mbar) Services - Argon - Nominal 10 psi; Nitrogen- Nominal 10 psi (Argon may be used as common gas) 真空泵:No 2. 泵complete with Vac. Hose & Oil Mist Filter 35L/Min 2m3/Hr 电源:230伏/50Hz(包括泵zei大电流为6安培)